تاثیر نانو لایه های بازدارنده در ساختار لایه های نازک تیتانات زیرکونات سرب (pzt)

thesis
abstract

امروزه با کمک فناوری ساخت لایه های نازک، به صورت گسترده از سرامیک های پیزوالکتریک در ساخت سیستم های میکروالکترومکانیک (mems) استفاده می شود. در پروژه حاضر سرامیک پیزوالکتریک تیتانات زیرکونات سرب (pzt) با فرمول pb(zrx, ti1-x)o3 به صورت لایه با ضخامت یک میکرون بر روی زمینه سیلیکون پوشش دهی شده با تیتانیوم و پلاتین (si/ti/pt) و به روش کندوپاش مغناطیسی rf راسب می شود. از لایه نازک پلاتین به عنوان الکترود بر روی زمینه سیلیکون استفاده می شود. کاربرد لایه نازک تیتانیوم به عنوان عامل چسبنده بین لایه پلاتین و زیرلایه سیلیکون می باشد. انجام دو مرحله عملیات حرارتی آنیل بر روی مجموعه چند لایه ای سیلیکون برای رشد لایه پلاتین در جهت (111) و ایجاد ساختار کریستالی پروفسکیت در لایه pzt ضروری است. اما در عین حال انجام عملیات آنیل، منجر به کریستالیزاسیون مجدد پلاتین و نیز ایجاد حفرات ریز بر روی این لایه می شود که متعاقب آن تخریب در لایه های نازک پلاتین و pzt و کاهش خواص الکتریکی pzt را در پی خواهد داشت. در این تحقیق اثر عوامل مختلف دما و زمان دو مرحله آنیل و نیز اثر ضخامت الکترود ti/pt بر ساختار و خواص pzt مورد بررسی قرار گرفت و مشخص شد که انجام عملیات های پیش آنیل و آنیل نهایی به ترتیب در دمای 650 درجه سانتی گراد و زمان 30 دقیقه و دمای 700 درجه سانتی گراد و زمان 15 دقیقه بر روی نمونه های با ضخامت های لایه تیتانیوم 5-10 nm و لایه پلاتین 150 nm بهترین نتایج را در حصول ساختار کریستالی و سطح مطلوب لایه pzt بدست می دهد.

First 15 pages

Signup for downloading 15 first pages

Already have an account?login

similar resources

سنتز لایه نازک نانوساختار زیرکونات تیتانات سرب بر پایه الکل‌‌های چند‌‌عاملی

در پژوهش حاضر لایه‌‌های نازک نانوساختار زیرکونات تیتانات سرب  (PZT)به‌‌روش سل- ژل با استفاده از پیش‌‌مواد کلریدی و یک الکل چندعاملی سنتز گردیدند. پروپیلن گلایکل هم به‌عنوان عامل چنگاله‌کننده[1] و هم به‌عنوان حلال در تهیه سل PZT و به‌منظور تولید لایه‌های نازک با کیفیت PZT به­کار گرفته ‌شد. پس از تهیه زیرلایه، لایه‌‌های PZT به ‌‌روش چرخشی بر زیرلایه Au/SiO2 انباشت شدند و هر لایه پس از ...

full text

رشد بر پایه قالب نانولوله های زیرکونات تیتانات سرب

زیرکونات تیتانات سرب (PZT) یک محلول جامد فروالکتریک و پیزوالکتریک کاملا شناخته شده با قطبش دایمی، گذردهی دی الکتریک و ضریب پیزوالکتریک بالا است. در پژوهش حاضر قالب نانومتخلخل جدیدی، برای اولین بار، برای رشد نانولوله های PZT معرفی گردیده است. برای تهیه قالب، ابتدا غشاهای آلومینایی از طریق آندایزینگ دومرحله ای فویلهای آلومینیومی درون یک سلول سرد، در دمای °C1 و با استفاده از الکترولیت اسید فسفریک ...

full text

مطالعه ساختاری لایه های نازک PZT/YBCO به وسیله XRD و AES

Thin films of superconductor YBaCuO(YBCO) and Pb(ZrTi)O(PZT) is grown by laser ablation technique to make an electronic device. The quality and the structure of the films is studied by X-ray diffraction (XRD) and Auger Electron Spectroscopy (AES). A quantitative analysis of the films is also deduced from AES study. Analysis of the films show that the YBCO is grown in (001) and PZT in (10...

full text

تاثیرافزودن نانوذراتpzt بر خواص لایه های نازک تیتانات زیرکونات سرب ایجاد شده به روش سل ژل هیبریدی

در سال های اخیر ایجاد و بکارگیری لایه نازک تیتانات زیر کونات سرب برروی زیرلایه های مختلف به خاطر پتانسیل بالای کاربرد آن در سیستم های میکروالکترومکانیکی(mems) موضوع بسیار قابل توجهی بوده است. در این پژوهش لایه های کامپوزیتی سرامیک/سرامیک 0-3 تیتانات زیرکونات سرب pb(zr0.52ti0.48)o3 با استفاده از روش سل ژل هیبریدی بر روی زیر لایه های مختلف ایجاد شد. اثر اندازه پودرهای اضافه شده و نسبت های وزنی مخ...

تاثیر ناخالصی Cu بر ساختار اپتیکی و الکتریکی لایه های نازک سولفید کادمیم

full text

رشد بر پایه قالب نانولوله های زیرکونات تیتانات سرب

زیرکونات تیتانات سرب (pzt) یک محلول جامد فروالکتریک و پیزوالکتریک کاملا شناخته شده با قطبش دایمی، گذردهی دی الکتریک و ضریب پیزوالکتریک بالا است. در پژوهش حاضر قالب نانومتخلخل جدیدی، برای اولین بار، برای رشد نانولوله های pzt معرفی گردیده است. برای تهیه قالب، ابتدا غشاهای آلومینایی از طریق آندایزینگ دومرحله ای فویلهای آلومینیومی درون یک سلول سرد، در دمای °c1 و با استفاده از الکترولیت اسید فسفریک ...

full text

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}


document type: thesis

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی امیرکبیر(پلی تکنیک تهران) - دانشکده مهندسی معدن

Keywords

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023